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    綁定靶材



    為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過(guò)程中破裂,燦元可為客戶提供綁定(Bonding)服務(wù),即把靶材綁定在背板上,除了具有保護(hù)靶材免于運(yùn)送或者拿取中的意外破裂,也可確保靶材的冷卻及電接觸良好,并可改善靶材使用時(shí)機(jī)械強(qiáng)度不足的問(wèn)題,亦可解決大尺寸面積靶材受限的問(wèn)題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅、金屬鈦、金屬鉬和不銹鋼,背板是在濺射時(shí)支撐靶材,以防靶材在濺射中出現(xiàn)開(kāi)裂等問(wèn)題,提高靶材的使用率和使用壽命


    燦元金屬目前能提供純銦綁定和導(dǎo)電膠綁定,綁定率>95%,達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
    綁定范圍:平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、圓形靶、異形靶。
    檢測(cè)方法:超聲波探傷檢測(cè)(C-SCAN)。


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